16. 不同气体的质量流量怎么换算？
产品出厂时一般用氮气校准﹑按氮气流量确定流说明 。使用相同的规格MFM/MFC测量不同的气体 ， 当流量检测值相同时 ， 的实际流量值可能不同 。我们在说明书中给出了不同气体相对于校准气体（氮气）质量流量转换系数 。
如果您使用的产品是标准的工厂产品（按氮气校准显示） ， 当需要知道实际使用的气体的质量流率时 ， 首先 ， 在产品说明书中找到实际气体的换算系数 。在测量过程中 ， 将该系数乘以流量显示值 ， 即为实际使用气体的质量流量；反之 ， 当确定购买产品的范围时 ， 将实际使用的气体的最大预期流量除以换算系数 ， 即相应氮气校准产品的流量值 。
空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体 ， 其换算系数约为1.0 , 一般可直接用按氮气校准显示的产品 ， 没有转换 。
17. 不同气体的流量换算系数是如何得到的? 如何计算混合气体的换算系数?
气体流量转换系数理论上取决于标准状态下气体的密度和比热, 和气体的分子组成系数 。常用的单组分气体 ， 转换系数可在制造商的产品说明书中找到；如果气体的密度和比热已知, 也可以通过以下基本公式计算 。
气体质量流量转换系数C的基本公式：
C=0.3106 N /ρ(Cp)
其中： ρ——是气体的密度
CP——是气体在恒压下的比热
N ——是气体分子组成系数（它与气体分子的组成有关, 见下表）
气体分子组成系数表
气体分子组成 举 例 N 取 值
单原子分子 Ar He 1.01
二原子分子 CO N2 1.00
三原子分子 CO2 NO2 0.94
多原子分子 NH3 C4H8 0.88
如果是多组分混合气体（假定由n物种气体成分） ， 根据以下公式计算转换系数C：
0.3106 [N1 (ω1/ωT )+N2 (ω2/ωT ) + ??? + Nn (ωn/ωT )]
C = ————————————————————————
ρ1Cp1 (ω1/ωT )+ ρ2Cp2 (ω2/ωT )+ ??? + ρnCpn (ωn/ωT)
其中 : ω1 …ωn ——是相应气体的流量
ωT ——是混合气体的流量
ρ1…ρn ——是相应气体的密度 (数值见产品技术规范)
CP1…CPn ——是相应气体在恒压下的比热 (数值见产品技术规范)
N1 … Nn ——是相应气体的分子组成系数
注意: 如果混合气体的混合比不固定, 无法计算转换系数 。
18. MFM/MFC使用时有什么注意事项？
(1)注意产品说明书和相关资料
(2) 小心轻放 ， 确保安全
MFM/MFC相对精确 ， 避免撞击和强烈振动 。产品不使用时 ， 请将其保存在良好的环境中 。
(3) 注重制度设计
用户购买MFM/MFC后 ， 通常有必要建立一个系统 。建议在系统设计中 ， 不要只考虑功能的实现 ， 还要考虑系统的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易于维护﹑扩展性和其他因素 。以下是一些具体的建议：
A. 注意加滤镜 ， 净化气源 ， 延长MFM/MFC的使用寿命 。
B. 对于反应系统 ， 建议在MFC的出气端加装单向阀 ， 从而防止异常情况下反应物的回流破坏 MFC 。
C. 对于高压系统 ， 应在MFC背压阀安装在下游（或其他节流装置）和压力计 ， 以便确保MFC工作压差 。
D. 对于暴露在空气中时容易形成晶体的气体 ， 例如硅烷 ， 特别注意系统的紧密性（检漏时不要忽视减压器） ， 必要时设计吹扫旁路 ， 随时进行氮气吹扫或正压维护 。
E. 对于要求高的气路系统, 注意气路接头的减少和采用VCR等接头 。对于使用有害气体的系统 ， 必须严格检漏 。气体柜应该有排气系统, 防止人员和设备受损 。
推荐阅读
- 海葵和寄居蟹的关系
- 闪存和硬盘的区别 闪存和硬盘的区别在哪
- 得鲜正品和非正品的区别是什么
- 烟煤和无烟煤的区别 烟煤和无烟煤的区别有哪些?
- 河粉米粉的区别
- wps行高和列宽在哪里设置
- 食言是什么意思 失言和食言是什么意思
- 推特怎么设置中文 推特怎么设置中文和解敏
- 官网和专柜质量一样吗
- 肉末豆腐：融合了肉类和豆类的美味佳肴