光刻机是生产制造芯片的必要设备,美一直都在限制ASML出货先进的EUV光刻机,由于光刻机过于复杂,ASML曾表示,给中国图纸其也不能复制出来 。
因为ASML的光刻机融合了全球超40个国家的尖端技术,供应商更是超过了数百家 。
但实际情况并非ASML所说的那么难,全球四大光刻机厂商中,上海微电子就是其中之一,而其研发制造的后道封装光刻机,占领了全球四成的市场 。
去年末,上海方面对外宣布,国产90nm光刻机取得突破;上海微电子28nm精度的光刻机取得技术验证 。
专业人士表示,在多次曝光工艺下,90nm光刻机可将芯片制程缩小至7nm,而ASML DUV光刻机的精度为38nm,多次曝光后,可将芯片制程缩小至7nm 。
上海微电子宣布国产光刻机取得突破的消息后,ASML突然出现了一个奇怪的现象,那就是坚持向国内出货,不听美劝 。
例如,美出台政策限制相关芯片企业出货,但ASML表示该政策对光刻机出货的影响是有限的,因为ASML光刻机中使用美元器件的数量是有限的 。
随后美又对ASML进行游说,希望其收紧国际主流光刻机的出货范围,结果直接被ASML给拒绝了 。
无奈的美,其联合日荷签订了三方协议,通过荷兰限制ASML出货先进光刻机 。
结果ASML不仅率先透露的三方协议达成的消息,还表示立法落地需要时间,预计6月份可能开始,这无疑是提醒厂商下单 。
另外,ASML还通过官网表示,三方协议限制了2000i及后续型号的DUV光刻机,1980Di型号的DUV光刻机将会持续出货,其在多重曝光工艺下,可将芯片制程缩小至7nm 。
ASML总裁在参加中国高层发展论坛时强调,如果不是瓦森纳协定,中国将会成为EUV光刻机最大的市场 。
也就是说,ASML不再夸下海口说中国造不出先进的光刻机,而是坚持向国内出货 。
ASML之所以态度大变,就是国内光刻机突破速度超出预期,ASML担忧彻底失去国内市场 。
要知道,国内市场是全球最大的芯片消费市场,每年进口芯片总额超过4000亿美元,芯片规则修改,更多芯片开始在国内制造,目标是七成芯片在国内生产 。
巨大的芯片生产需求,自然就需要更多的光刻机,ASML不坚持出货,就会失去大量的市场 。
另外,国内光刻机等技术进步很快,90nm已经取得突破,28nm精度的光刻机也得到技术验证,华为、西工大等还全力突破更先进的光源技术 。
这意味着ASML在国内的必然会一步步被蚕食 。
更何况,硅芯片已经将近极限,越来越多的厂商都在研发量子芯片、光电芯片等,荷兰也投资11亿欧元研发光电芯片技术 。
但光电芯片和量子芯片技术,国内目前都有领先优势,还能够绕开ASML的光刻机 。
【国产光刻机最新进展 国产光刻机可以达到多少纳米】总结一下就是,国内光刻机突破速度很快,量子芯片和光电芯片时代又在到来,ASML为了市场份额,不得不坚持出货 。
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